发明名称 LITHOGRAPHIC RESISTS AND METHOD OF USING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0211161(B1) 申请公布日期 1990.02.28
申请号 EP19860106714 申请日期 1986.05.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 KWONG, RANEE W.;SACHDEV, HARBANS S.;SACHDEV, KRISHNA GANDHI
分类号 G03F7/039;G03F7/075 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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