DEVICE FOR COATING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE,申请号JP19880211668-传众专利搜索

发明名称	DEVICE FOR COATING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号	JPH0260121(A)	申请公布日期	1990.02.28
申请号	JP19880211668	申请日期	1988.08.26
申请人	NEC CORP	发明人	KOBAYASHI AKIRO
分类号	G03F7/16;B05C11/08;B05D1/40;H01L21/027	主分类号	G03F7/16
代理机构		代理人
主权项
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