发明名称 DEVICE FOR GROWTH OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0260122(A) 申请公布日期 1990.02.28
申请号 JP19880212836 申请日期 1988.08.25
申请人 SHARP CORP 发明人 MIZUKI TOSHIO
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
地址