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发明名称
WET ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0258835(A)
申请公布日期
1990.02.28
申请号
JP19880211246
申请日期
1988.08.24
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
HASHIMOTO TAKASHI
分类号
B08B3/02;H01L21/304;H01L21/306
主分类号
B08B3/02
代理机构
代理人
主权项
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