发明名称 Dicing semiconductor wafers
摘要
申请公布号 US2970730(A) 申请公布日期 1961.02.07
申请号 US19570633151 申请日期 1957.01.08
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 SCHWARZ FRIEDRICH W.
分类号 B28D5/00;H01L21/301 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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