发明名称 SPECIMEN OBSERVING METHOD WITH SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0257942(A) 申请公布日期 1990.02.27
申请号 JP19880209142 申请日期 1988.08.23
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 INOUE TETSUO
分类号 G01N1/28 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
主权项
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