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发明名称 METHOD OF FORCIBLY EXHAUSTING LABYRINTH PART OF AIR BEARING FOR VACUUM
摘要
申请公布号 JPH0257720(A) 申请公布日期 1990.02.27
申请号 JP19880206258 申请日期 1988.08.22
申请人 CANON INC 发明人 FURUKAWA KANAME
分类号 F16C32/06;H01L21/027 主分类号 F16C32/06
代理机构 代理人
主权项
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