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发明名称 LSI TESTER
摘要
申请公布号 JPH0257987(A) 申请公布日期 1990.02.27
申请号 JP19880209908 申请日期 1988.08.23
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUOKA EIKI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/319;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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