发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING A COATING OF AMORPHOUS CARBON AND A COATING
摘要
申请公布号 JPH0257679(A) 申请公布日期 1990.02.27
申请号 JP19890162834 申请日期 1989.06.27
申请人 LICENTIA PATENT VERWALT GMBH 发明人 ETSUKEHARUTO NIIMAN;ROORANTO HERUKERUTO
分类号 C30B29/04;C23C14/06 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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