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发明名称 Compositionally modulated, nitrided alloy films and method for making the same
摘要
申请公布号 US4904543(A) 申请公布日期 1990.02.27
申请号 US19880184827 申请日期 1988.04.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 SAKAKIMA, HIROSHI;OSANO, KOICHI
分类号 C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34;C23C14/58;G11B5/147;G11B5/31;H01F10/13;H01F10/16;H01F10/32;H01F41/30 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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