| 发明名称 |
CONTROL METHOD FOR ION PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0256833(A) |
申请公布日期 |
1990.02.26 |
| 申请号 |
JP19880208869 |
申请日期 |
1988.08.22 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SASAMURA YOSHITAKA;NAKAZATO HIROSHI;TSUCHIYA NOBORU;KONISHI MASASHI |
| 分类号 |
H01J27/16;H01J37/04;H01J37/08;H01J37/30;H01J37/317 |
主分类号 |
H01J27/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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