| 发明名称 |
MULTILAYERED FILM REFLECTING MIRROR FOR SOFT X-RAY MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0256000(A) |
申请公布日期 |
1990.02.26 |
| 申请号 |
JP19880206277 |
申请日期 |
1988.08.22 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
MURAKAMI KATSUHIKO;NAKAMURA HIROSHI |
| 分类号 |
G21K1/06;G02B5/08;G21K7/00 |
主分类号 |
G21K1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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