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发明名称
摘要
申请公布号 JPH027884(Y2) 申请公布日期 1990.02.26
申请号 JP19830182289U 申请日期 1983.11.26
申请人 发明人
分类号 C30B19/06;C30B19/10;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/06 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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