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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0254927(A)
申请公布日期
1990.02.23
申请号
JP19880206987
申请日期
1988.08.19
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
ARIKAWA TATSUICHIRO
分类号
H01L21/3205;C23C18/31;H01L21/288
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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