| 发明名称 |
DEVICE FOR MEASURING BREAKDOWN PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0254147(A) |
申请公布日期 |
1990.02.23 |
| 申请号 |
JP19880205391 |
申请日期 |
1988.08.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MATSUI TETSUYA;KITAMORI TAKEHIKO;YOKOSE KENJI;SAKAGAMI MASAHARU |
| 分类号 |
G01N15/10;G01N15/14;G01N21/71;G01N27/06;G01N27/62;G01N27/64 |
主分类号 |
G01N15/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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