发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0254770(A) 申请公布日期 1990.02.23
申请号 JP19880205370 申请日期 1988.08.18
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAHIGASHI TAKAHIRO
分类号 C23C16/50;C23C16/511 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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