发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0254526(A) 申请公布日期 1990.02.23
申请号 JP19880205178 申请日期 1988.08.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NISHIDA SOICHI;ITOU MARIKO
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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