发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0254958(A) 申请公布日期 1990.02.23
申请号 JP19880206976 申请日期 1988.08.19
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 FURUHATA TOMOYUKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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