发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0252457(A) 申请公布日期 1990.02.22
申请号 JP19880203623 申请日期 1988.08.15
申请人 NEC CORP 发明人 SHIROUCHI TOSHIAKI
分类号 H01L23/40 主分类号 H01L23/40
代理机构 代理人
主权项
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