发明名称 PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0253059(A) 申请公布日期 1990.02.22
申请号 JP19880205145 申请日期 1988.08.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUOKA KOJI;ENDO MASATAKA;SASAKO MASARU;NOMURA NOBORU
分类号 G03F7/16;H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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