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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0252461(A) 申请公布日期 1990.02.22
申请号 JP19880205343 申请日期 1988.08.17
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 ONDA YUTAKA;OTSUKA JUNKO
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/30;G01R31/3185;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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