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发明名称 DEVICE FOR TRANSFERRING SEMI-CONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH0252814(A) 申请公布日期 1990.02.22
申请号 JP19880201252 申请日期 1988.08.12
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 HANAKI YOSHIMITSU
分类号 B65G21/22;B65G17/26;B65G49/06;B65G49/07 主分类号 B65G21/22
代理机构 代理人
主权项
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