摘要 |
<p>Beschrieben wird ein chemosensitiver Wandler (10) zur selektiven Bestimmung einer chemischen Eigenschaft eines Fluids (11), mit wenigstens einem Feldeffekttransistor, dessen Gate mit einer zugeordneten Meßelektrode (19) verbunden ist, die mit einer für die chemische Eigenschaft sensitiven Membran (29) bedeckt ist, und mit einer Kapselung (30), die den gesamten Wandler (10) mit Ausnahme der Membran(en) (29) gegenüber dem Fluid (11) isoliert. Der erfindungsgemäße Wandler zeichnet sich dadurch aus, daß eine Trägerplatte (18) vorgesehen ist, auf deren einer Seite die Meßelektrode (19) und auf deren anderer Seite eine den Feldeffekttransistor enthaltende Verstärkerschaltung (22) angeordnet sind, und daß die Meßelektrode (19) mit dem Gate des Feldeffekttransistors über einen die Trägerplatte (18) durchsetzenden Leiter (24) elektrisch verbunden ist.</p> |