VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MONOKRISTALLINEN HALBLEITERSCHICHT.,申请号DE19833381126-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MONOKRISTALLINEN HALBLEITERSCHICHT.
摘要
申请公布号	DE3381126(D1)	申请公布日期	1990.02.22
申请号	DE19833381126	申请日期	1983.04.08
申请人	FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP	发明人	SAKURAI, JUNJI, SETAGAYA-KU TOKYO 158, JP
分类号	C30B13/22;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/208;H01L21/26;H01L21/268;H01L21/84;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/268	主分类号	C30B13/22
代理机构		代理人
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