VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG KLEINER STRUKTUREN,申请号DD19880320776-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG KLEINER STRUKTUREN
摘要
申请公布号	DD276364(A1)	申请公布日期	1990.02.21
申请号	DD19880320776	申请日期	1988.10.14
申请人	AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD	发明人	WITTRICH,HARALD,DD;JOHN,WILFRIED,DD
分类号	H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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