发明名称 APPARATUS FOR FORMATION OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0251221(A) 申请公布日期 1990.02.21
申请号 JP19880203036 申请日期 1988.08.15
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMADA TAKESHI;SUGIURA HIDEO
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
地址
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