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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0226226(U) 申请公布日期 1990.02.21
申请号 JP19880104841U 申请日期 1988.08.08
申请人 发明人
分类号 H01S5/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027;H01S3/18 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
主权项
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