| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SIO2 FILM FOR SEMICONDUCTOR CAPACITY ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0251262(A) |
申请公布日期 |
1990.02.21 |
| 申请号 |
JP19880201502 |
申请日期 |
1988.08.12 |
| 申请人 |
TOYOTA AUTOM LOOM WORKS LTD |
发明人 |
KATO MASAAKI |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/316;H01L21/822 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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