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发明名称 METHOD OF TESTING INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0251244(A) 申请公布日期 1990.02.21
申请号 JP19880202968 申请日期 1988.08.15
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 IINO SHINJI
分类号 G01R31/317;H01L21/66 主分类号 G01R31/317
代理机构 代理人
主权项
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