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发明名称 MOS SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0251267(A) 申请公布日期 1990.02.21
申请号 JP19880202992 申请日期 1988.08.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NIITSU YOICHIRO
分类号 H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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