发明名称 SEMICONDUCTOR TESTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0252263(A) 申请公布日期 1990.02.21
申请号 JP19880204111 申请日期 1988.08.17
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 TAKAHASHI KENICHI
分类号 G01R31/26;G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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