| 发明名称 |
SYSTEM FOR CONTROLLING ACTUAL SELF-ACTING HOURS FOR FILM-ADHERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0250971(A) |
申请公布日期 |
1990.02.20 |
| 申请号 |
JP19890111887 |
申请日期 |
1989.04.28 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
RONARUDO TEII SUMISU;EDOWAADO EMU II;JIYATSUKU EFU RINDAA;MAOOJIN CHIYAAN;GEIRII FUITSUSHIYAA |
| 分类号 |
C23C16/52;G01B11/06;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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