发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE CHANGING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH0250451(A) 申请公布日期 1990.02.20
申请号 JP19880201203 申请日期 1988.08.12
申请人 NEC KAGOSHIMA LTD 发明人 NISHIMURA MITSUYA
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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