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发明名称 PLASMA CVD FILM-FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0250419(A) 申请公布日期 1990.02.20
申请号 JP19880199848 申请日期 1988.08.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAHASHI YUJI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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