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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0250966(A) 申请公布日期 1990.02.20
申请号 JP19880200489 申请日期 1988.08.10
申请人 NEC CORP 发明人 HISAMUNE YOSHIAKI
分类号 C23C16/40;C23C16/48;H01L21/31 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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