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发明名称 Wand optics column and associated array wand and charged particle source
摘要
申请公布号 US4902898(A) 申请公布日期 1990.02.20
申请号 US19880186510 申请日期 1988.04.26
申请人 MICROELECTRONICS CENTER OF NORTH CAROLINA 发明人 JONES, GARY W.;SCHWARTZ JONES, SUSAN K.
分类号 H01J27/02;H01J37/08;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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