发明名称 DISPOSING STRUCTURE FOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0250459(A) 申请公布日期 1990.02.20
申请号 JP19880200202 申请日期 1988.08.12
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK 发明人 TOKUMARU TAKEJI;KUDO TSUNEAKI
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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