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发明名称
POSITION DETECTOR
摘要
申请公布号
JPH0249113(A)
申请公布日期
1990.02.19
申请号
JP19880198801
申请日期
1988.08.11
申请人
NEC CORP
发明人
KONNO HIDETO
分类号
G01B7/00;G01D5/244;G01D5/245;H01L43/08
主分类号
G01B7/00
代理机构
代理人
主权项
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