发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0249339(A) 申请公布日期 1990.02.19
申请号 JP19890114312 申请日期 1989.05.09
申请人 PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV 发明人 PIETERU KURUITO;KARERU DEIDERITSUKU FUAN DERU MASUTO
分类号 H01J37/04;H01J37/141 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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