| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0247263(A) |
申请公布日期 |
1990.02.16 |
| 申请号 |
JP19880198553 |
申请日期 |
1988.08.09 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
TAKAGI SHINJI;SEKIGUCHI ATSUSHI;KOBAYASHI TSUKASA |
| 分类号 |
C23C16/04;C23C16/455;C23C16/46;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H05K3/14 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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