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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND OPERATION TESTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0247574(A) 申请公布日期 1990.02.16
申请号 JP19880199537 申请日期 1988.08.10
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HIRABAYASHI KANJI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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