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发明名称 CLEANING DEVICE FOR CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0246718(A) 申请公布日期 1990.02.16
申请号 JP19880197114 申请日期 1988.08.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAMAMUSHI SHUICHI;OGAWA YOJI;NUMAGA TAKUOKI;YAMADA HIROKAZU;SUZUKI YOSHIO
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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