发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0246778(A) 申请公布日期 1990.02.16
申请号 JP19880198403 申请日期 1988.08.09
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 MURAI SHIGEYUKI
分类号 H01L21/265;H01L29/93 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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