发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE FOR MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0246733(A) 申请公布日期 1990.02.16
申请号 JP19880197116 申请日期 1988.08.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKAYANAGI MARIKO
分类号 H01L29/73;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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