摘要 |
<P>L'invention concerne la technologie des circuits intégrés.</P><P>Un appareil automatisé pour séparer des substrats collectifs en dispositifs individuels comprend notamment : des moyens de guidage de substrat 4, 16, 18, 32, 34; des moyens de séparation de bande de substrat 22, 30; des moyens de guidage de bande 6, 36, 38, 48, 50; des moyens de séparation de dispositifs individuels 44, 46; et des moyens de guidage de dispositifs individuels 8, 52, 54 qui reçoivent des dispositifs individuels et qui les guident vers un réceptacle 60.</P><P>Application à la fabrication des circuits intégrés hybrides.</P>
|