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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0245968(A) 申请公布日期 1990.02.15
申请号 JP19880196878 申请日期 1988.08.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SASAKI IKUO;HAYASHI MANABU;MANABE SHUICHI
分类号 H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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