发明名称 SYSTEM UND VERFAHREN ZUR VAKUUMABSCHEIDUNG.
摘要
申请公布号 DE3668188(D1) 申请公布日期 1990.02.15
申请号 DE19863668188 申请日期 1986.10.07
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BARBEE, STEVEN GEORGE, DOVER PLAINS, N.Y. 12 522, US;DEVINE, GREGORY PAUL, WAPPINGERS FALLS, N.Y. 12590, US;PATRICK, WILLIAM JOHN, NEWBURGH, N.Y. 12 550, US;SEELEY, GERARD, WAPPINGERS FALLS, N.Y. 12 590, US
分类号 C23C16/40;C23C16/448;C23C16/52;(IPC1-7):C23C14/54;C23C14/24;C23C14/34;C23C16/44;H05K3/16 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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