VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG KOPLANARER VIELLAGENMETALL-ISOLATOR-SCHICHTEN AUF EINEM SUBSTRAT.
摘要
申请公布号
AT50379(T)
申请公布日期
1990.02.15
申请号
AT19860114396T
申请日期
1986.10.17
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
CHOW, MELANIE MIN-CHIEH;CRONIN, JOHN EDWARD;GUTHRIE, WILLIAM LESLIE;KAANTA, CARTER WELLING;LUTHER, BARBARA JEAN;PATRICK, WILLIAM JOHN;PERRY, KATHLEEN ALICE;STANDLEY, CHARLES LAMBERT
