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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0245922(A) 申请公布日期 1990.02.15
申请号 JP19880196712 申请日期 1988.08.05
申请人 NEC CORP 发明人 KATO SHIGEKI
分类号 H01L21/3213;H01L21/28;H01L21/3205;H01L29/78 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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