发明名称 6,5微米红外长波通滤光器
摘要 本实用新型以聚氧硅为基片,选用锗,硒化锌,硫化锌为镀膜材料,采用真空中蒸镀多层干涉膜,膜系设计采用双面反射堆叠加而成,具有通带区域透射率高,波纹小,成品率高的特点,生产外径为76毫米和101毫米的厚度为1毫米,0.5毫米等不同规格高稳定性的6.5微米红外长波通滤光器,产品可再进一步成型切割,经受自动化生产线的振动和摩擦,可作为光学元件广泛应用于红外报警器和光自动化开关用红外传感器中。
申请公布号 CN2052908U 申请公布日期 1990.02.14
申请号 CN89216672.X 申请日期 1989.09.06
申请人 中国科学院上海技术物理研究所 发明人 许士荣;张文德;严义埙;张凤山;许步云;朱龄心;曹永良;徐青
分类号 G02B5/20 主分类号 G02B5/20
代理机构 中国科学院上海专利事务所 代理人 高毓秋;郭芙
主权项 1、一种红外滤光器,以硅材料为基片,真空蒸镀上多层介质膜组成,其特征在于: a)基板3以聚氧硅为材料; b)介质膜材料分别选用锗,硒化锌和硫化锌,由锗/硒化锌,锗/硫化锌二组三种材料分别在基板3的正面1和背面2上蒸镀多层干涉膜; c)薄膜系统采用周期对称膜系并引入修正膜层作为反射堆,其排列为: 在正面1上; DO.77(HL1.3H)0.77(L/2HL/2)8(L/2HL/2)80.2L1.4H2.21 在背面2上:L D1.3H0.23(L/2HL/2)90.29(L/2HL/2)90.38(L/2HL/2)90.5(L/2HL/2)90.65(L/2HL/2)81.7H2.2l, 排列式中,D表示硅基板,H表示锗的λ0/4层,L表示硒化锌的λ0/4层,L表示硫化锌的λ0/4层,波长λ0为5.4微米。
地址 上海市中山北一路420号